AFM图中的均方根粗糙度(RMS)怎么计算

2025-04-09 02:28:08
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Rq  均方根粗糙度

Rq是在取样长度内,轮廓偏离平均线的均方根值,它是对应于Ra的均方根(rms)参数。

这里

Rq的引出

均方根值是将每一个值平方,然后将该平方平均后再开平方。

例如,四个值a,b, c, d 的算术平均是:

均方根值是:

与算术平均值相比,rms(均方根值)具有侧重给出较高值的作用。这可用下面的三组值来说明:

3, 4, 5       2, 4, 6     1, 4, 7

其每一组的算术平均是4,这三组中,较高的值按1连续增加(5,6,7),正好等于较低的值按1连续减小(3,2,1)。其各自的rms(均方根值)值是,说明最大数字的增加,在权重上超过了最低数字的减小。

这就是为什么会有两个平均值(Ra和Rq)的原因。Ra可容易的从轮廓记录中得到,因此该参数最初适用在粗糙度测量仪器变成通用仪器之前。

从统计学来讲,rms(均方根值)值比算术平均值更有意义。