影响Sb2S3薄膜生长的因素有哪些

2025-03-26 10:24:50
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磨料磨具中从影响金刚石成核生长的热力学和动力学方面考虑,主要有:衬底(基片)材料、衬底(基片)的预处理、衬底(基片)的炉内处理、沉积气源(气体中碳的浓度)、衬底(基片)温度、气体压强以及氢原子在沉积中的作用。