硫酰氟液态的自然蒸气压很大。10℃时为1.23MPa；25℃时为1.8MPa,作为熏蒸剂的发生，从钢瓶中释放出来，弥漫扩散渗透能力要比甲基溴强，据有关资料介绍，分别对硫酰氟和甲基溴作木屑、麦粉、碎烟叶等物品的渗透力比较，用药量为8g/m3,温度26.7℃，熏蒸处理16h,以黑皮蠹幼虫、赤拟谷盗成虫作试虫。以硬木屑为例，甲基溴处理黑皮蠹幼虫5h以下无死亡，赤拟谷盗成虫9h以下死亡率仅5%；而硫酰氟9h以下者死亡率均为100%。其渗透性强的主要原因是沸点低，蒸气压高。如5℃时，硫酰氟蒸气压要比40℃时甲基溴高3倍，因而极易扩散和渗透。当然这对熏蒸操作，严格密封提出了更高要求。此外硫酰氟吸附量是甲基溴的1/3,因而其解吸也快。在相同条件下，对木材熏蒸后通风8-12h,硫酰氟就检不出，而甲基溴通风一天后还有5ppm,40天后仍保持4ppm。
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