请问PCB工艺和MEMS工艺之间的联系与区别?

2025-03-22 23:52:10
推荐回答(3个)
回答1:

我来解释一下,我深入接触过MEMS工艺。

MEMS工艺:加工目标是制备芯片,加工对象是硅片等半导体基片。具体工艺中继承了IC工艺的诸多步骤,譬如光刻、氧化(干氧+湿氧)、CVD、离子注入等;同时又有自己特有的工艺部分,譬如DRIE(用于加工深槽和可动结构)。概括地讲,MEMS工艺是涵盖一种加法工艺(CVD等)和减法工艺(DRIE、湿法腐蚀等)。

PCB工艺:加工目标是连接多个不同的电路元件,例如芯片、电阻、电容等元器件;加工对象是不同的铜连接线的布局和布线。PCB工艺一般电子电路设计工程师都无需接触,均可在工厂里操作。具体来讲,PCB设计工程师只需给一张你做好的版图,发给PCB厂商,一周内基本都做的了。

所以,MEMS工艺和PCB工艺是两种截然不同的工艺,不管从加工对象、目标方面来讲,还是工艺具体内容、细节来讲来讲都有本质的区别。前者是前道做芯片的,后者是基于芯片做小系统的;前者需要开发、探索的东西许多,后者则相对成熟的多。

纯手打,如能解决问题,请采纳,需分。

回答2:

ic即intergarted circuit,集成电路,统称。所以ic工艺即是制造集成电路的工艺,有很多种,比如最早的bipolar工艺、后来的nmos工艺、pmos工艺以及现阶段被广泛使用的cmos工艺(cmos工艺就是在一套制程种能同时生产两种mos,nmos和pmos),另外还有集成了cmos和bipolar的bi-cmos工艺等等。
而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域,跟ic有很大的关联,当然mems工艺也和cmos工艺会有很大的相似之处,现在的发展方向应该是把二者集成到一套的工艺上来。
对mems不是特别的了解:)

for mems details:

回答3:

有联系,PCB定义是:印制电路板,又称印刷电路板、印刷线路板,简称印制板,常使用英文缩写PCB(Printed circuit board)。而MEMS则是指:PCB封装技术在微电子机械系统(MEMS)中的器件。意思就是MEMS是指微电子机械系统(MEMS)。