对于S7-200,把程序清空后断电再重新上电,如果SF还没有消除则是硬件故障。另外就是有可能是I/O板短路,检查输入信号是否正常,有没有过电压输入到模块中。
程序中有BUG,请对出错CPU进行在线诊断(查看信息)。