氧气通过电击可变为臭氧。通常都借助无声放电作用从氧气或空气制备臭氧，臭氧发生器即根据这一原理制造。利用臭氧和氧气沸点的差别，通过分级液化可得浓集的臭氧。在紫外线辐射下，通过电子放射或暴晒从双原子氧气可自然形成臭氧。[1] 工业上，用干燥的空气或氧气，采用5 ~ 25 kV的交流电压进行无声放电制取。另外，在低温下电解稀硫酸，或将液体氧气加热都可制得臭氧。
