业内有两种主流方法：其一，是Cola Test，就是用一定直径的钢球，滚动摩擦被检测工件的表面，得到一组基材、涂层的同心圆，然后用显微镜测量尺寸，通过公式计算得出涂层厚度。这种方法为有损检测，但是比较准确其二，采用X射线衍射的方法（XRF），测量涂层厚度。这种方法无损、快速，准确度也可以
椭偏仪或者光度计 SEM都可以测量
这有专门的膜厚仪测
