1958年：中电科技集团第45研究所的前身天津电子管厂开始筹建1965年：搬迁至甘肃省平凉市1975年：改为半导体专用设备研究所2000年：在河北三河燕郊开发区建立分所，2002年：随着中国电子科技集团公司的成立，更名为中国电子科技集团公司第四十五研究所2010年：更名为“北京半导体专用设备研究所”
